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鄭州半導體車間凈化為什么要采用無塵空間

發布日期:2019-01-24 16:34:19 | 訪問量:1830次瀏覽 | 分類:常見問題

半導體組件體積小,對精度要求高,單位通常以微米計算,半導體無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。微塵顆粒沾附在半導體組件上,便很容易造成短路或斷路的嚴重后果,因此要求所有半導體制程設備都必須安置在安全無塵的密閉空間中。半導體無塵車間建立的目的是為了過濾循環空氣建議無塵環境,調節空氣建立恒溫恒濕環境,建立正壓環境避免外氣污染。

合景凈化案例圖

半導體無塵車間潔凈室與各系統關系如下:

無塵車間參數

1.壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

2.平均風速: 100級0.3-0.5m/s;

3.噪聲≤65dB(A);

4.新風補充量是總送風量的10%-30%;

5.照度300LX。

6.溫度:20-26 度, (車間),溫度:12-23度 (用于產品測試)

7.濕度:50-70%RH,(車間),濕度40-85%RH(用于產品測試)

8.凈化等級:100級-30萬級(用于測試),1000-30萬級用于生產。

半導體制造對無塵車間工程環境的控制有較為嚴格的要求,FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求,因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的無塵車間工程設計方案?!  ?/span>

ESD也是半導體制造環境控制的重要內容,靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產品的良率。

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