鄭州半導體車間凈化為什么要采用無塵空間

半導體組件體積小，對精度要求高，單位通常以微米計算，半導體無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。微塵顆粒沾附在半導體組件上，便很容易造成短路或斷路的嚴重后果，因此要求所有半導體制程設備都必須安置在安全無塵的密閉空間中。半導體無塵車間建立的目的是為了過濾循環空氣建議無塵環境，調節空氣建立恒溫恒濕環境，建立正壓環境避免外氣污染。

合景凈化案例圖

半導體無塵車間潔凈室與各系統關系如下：

無塵車間參數

1.壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；

2.平均風速： 100級0.3－0.5m/s；

3.噪聲≤65dB（A）；

4.新風補充量是總送風量的10％－30％；

5.照度300LX。

6.溫度：20-26 度， （車間），溫度：12-23度 （用于產品測試）

7.濕度：50-70%RH，（車間），濕度40-85%RH（用于產品測試）

8.凈化等級：100級－30萬級（用于測試），1000-30萬級用于生產。

半導體制造對無塵車間工程環境的控制有較為嚴格的要求，FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的無塵車間工程設計方案?！　　?/span>

ESD也是半導體制造環境控制的重要內容，靜電釋放可能對產品和生產設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產品的良率。