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鄭州雕刻玻璃加工廠無塵車間溫度是多少

發布日期:2019-01-16 09:36:01 | 訪問量:1660次瀏覽 | 分類:常見問題

玻璃加工廠無塵室的溫度控制在20~25度,濕度控制在45%~65%之間,75%有點高,另外還要考慮無塵室的級別。具體可以咨詢湖南純臻凈化工程,專業做無塵室凈化工程設計施工,涉及行業:微電子、醫療器械、印刷包裝、無菌室、恒溫恒濕實驗室、食品、化妝品、玻璃廠、汽車工業、印刷包裝、光學廣電等。

凈化車間溫度作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種無塵車間不宜超過25度。

無塵車間濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

此外,無塵車間濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產最佳溫度范圍為35—45%。

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